系统特点：
1、纯物理过滤，过滤过程中不添加任何化学药剂，可确保晶圆加工的用水安全；
2、使用改良膜，不被细小硅粉堵塞，不被大颗粒硅渣划伤，膜使用寿命长，运行稳定；
3、采用纯物理方式去除表面活性剂，保证产水水质的情况下，避免有机物损坏或影响RO膜；
4、回收率达90%以上；
5、固废含量较少；